最先端産業で求められる超クリーンな条件
今日、半導体デバイス・バイオ・新素材の研究開発や製造に伴い、それらに使用される器機や部品、またその環境で作業するためのウエアなどには、サブミクロンレベルの清浄度が求められています。その清浄化を計る作業を行う環境として不可欠なのが、徹底的に管理された「クリーンルーム」の存在です。
「クリーンルーム」とは、清浄度管理が行われている限られた空間で、空気中の遊微小粒子、浮遊微生物が限定され、清浄度レベル以下に管理されているもの。その空間に供給される材料、薬品、水などについても、清浄度が要求され、必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われている空間です。当社では、世界水準の「クリーンルーム」と独自のシステムで極限の清浄度ニーズに応えています。